Silicon carbide boat

Ang Semicorex silikon na karbida na bangka ay nagpapakita ng pambihirang thermal katatagan, na nagpapahintulot sa kanila na makatiis ang matinding temperatura na kinakailangan para sa mga proseso ng oksihenasyon at pagsasabog. Ang kanilang mahusay na paglaban sa thermal shock ay nagpapaliit sa panganib ng pag -crack o pagpapapangit, na tinitiyak ang matagal na kahabaan ng pagpapatakbo. Ang komposisyon ng high-density na SIC ay nagbibigay ng higit na lakas ng mekanikal na lakas, pagpapanatili ng integridad ng istruktura kahit na sa ilalim ng tuluy-tuloy na pagbibisikleta ng thermal. Ang pambihirang pagtutol sa mekanikal na stress ay binabawasan ang posibilidad ng kontaminasyon at pagbasag ng wafer, na nag -aambag sa mas mataas na mga ani ng proseso. Bukod dito, ang mga bangka ng SIC ay nagtataglay ng natitirang paglaban ng kemikal, na nananatiling hindi gumagalaw sa mga agresibong gas gas na ginagamit sa mga hakbang sa oksihenasyon at pagsasabog. Ang katangian na ito ay pumipigil sa mga hindi kanais -nais na reaksyon na maaaring makompromiso ang kadalisayan ng kalinisan at kahusayan sa paggawa.

Ang mga bangka na karbida ng silikon ay pangunahing ginagamit sa mga oksihenasyon at pagsasabog ng mga hurno, kung saan ang tumpak na kontrol sa pagkakalantad ng wafer sa mataas na temperatura at reaktibo na gas ay mahalaga. Sinusuportahan nila ang mga wafer sa panahon ng thermal oksihenasyon upang mapalago ang mataas na kalidad na mga layer ng silikon na dioxide at mapadali ang pantay na doping sa pamamagitan ng kinokontrol na pagkakalantad sa mga dopant gas. Bilang karagdagan, nagbibigay sila ng isang matatag na platform para sa pagsusubo at iba pang mga paggamot na may mataas na temperatura na nangangailangan ng matagal na pagkakalantad ng init.

Kung ikukumpara sa tradisyonal na quartz at grapayt na bangka, ang mga bangka ng karbida ng silikon ay nag -aalok ng hindi katumbas na tibay, kahabaan ng buhay, at pagganap. Ang kanilang kakayahang makatiis ng malupit na thermal at kemikal na kapaligiran habang binabawasan ang kontaminasyon ay ginagawang sila ang ginustong pagpipilian para sa paggawa ng high-precision semiconductor. Sa pamamagitan ng isang pagtuon sa kalidad at pagbabago, ang aming mga silikon na karbida ay naghahatid ng mahusay na pagganap, tinitiyak ang mataas na ani at mahusay na pagproseso ng wafer para sa mga tagagawa ng semiconductor sa buong mundo. Kung para sa mga advanced na teknolohiya ng node o katha ng semiconductor ng legacy, ang mga bangka na ito ay nagbibigay ng isang maaasahang solusyon upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan sa industriya.

.

. Makakatulong ito upang matiyak na ang temperatura at rate ng reaksyon ng bawat bahagi ng wafer ay mananatiling pare -pareho sa panahon ng proseso ng paggamot ng init, sa gayon ay mapapabuti ang ani at kalidad ng wafer.

Mayroong kasalukuyang tatlong pangunahing uri ngSilicon carbide ceramicMga Materyales: reaksyon ng sintering, walang presyur na sintering, at pag -recrystallization sintering. Sa karamihan ng mga aplikasyon, ang reaksyon na sintered silikon na karbida ay isang mas angkop at mabisang gastos sa produkto. Ang recrystallized sic boat ay karaniwang sinter at iproseso muna ang mga bahagi ng yunit, pagkatapos ay gumamit ng Si I-paste upang pagsamahin ang mga bahagi sa isang bangka sa mataas na temperatura, at sa wakas ay mag-apply ng CVD-SiC coating (mga 100um). Dahil ang pag -recrystallization ay porous, kung walang SIC coating, magpapakilala rin ito ng mga partical sa proseso ng semiconductor. Ang ganitong uri ng recrystallized sic boat na may CVD-SiC coating ay may pinakamahabang proseso ng pagmamanupaktura at napakamahal. Kung ikukumpara sa SIC coated grapayt boat, ang CVD-SIC coated recrystallized sic boat ay walang problema sa mismatch ng CTE.