Mga Bangka ng Silicon Carbide Cassette

Semicorexsilicon carbide cassette boatsay ang kailangang-kailangan na mga sangkap na nagdadala, kasama ang kanilang matatag at mataas na lakas na istraktura, ligtas at tiyak na ligtas na humawak, naglilipat, at humahawak ng maramihang mga semiconductor na wafer. Malawakang ginagamit ang mga ito sa iba't ibang mga proseso ng semiconductor na may mataas na temperatura upang matiyak ang na-optimize na pamamahagi ng daloy ng init at gas para sa pare-parehong mga resulta ng pagproseso.

Maingat na napiling hilaw na materyal

Tiyak na gawa mula sa semiconductor-grade silicon carbide powder sa pamamagitan ng high-temperature sintering, ang Semicorex silicon carbide cassette boat ay nagtataglay ng mga sumusunod na mahuhusay na katangian.

1.Ultra-high purity:Ang karumihang nilalaman ng substrate ay kinokontrol na mas mababa sa 100 PPM, at ang antas ng karumihan ngCVD silicon carbideang coating ay maaaring umabot ng mas mababa sa 1 PPM.

2. Maaasahang paglaban sa kaagnasan:Ang silicone carbide ceramic ay naghahatid ng malakas na corrosion resistance, at ito ay lumalaban sa corrosion mula sa karamihan ng mga acid (tulad ng hydrochloric acid, sulfuric acid, at hydrofluoric acid), alkalis (tulad ng caustic soda), solvents, at oxidizing media.

3. Pambihirang kapasidad sa pamamahala ng thermal:Sa pambihirang thermal resistance at isang mababang thermal expansion coefficient, ang mga silicon carbide cassette boat ay maaaring mapanatili ang kanilang mga kemikal na katangian at mekanikal na lakas kahit na sila ay nalantad sa matagal na mga kondisyon ng operating sa isang mataas na temperatura sa paligid ng 1250 °C.

Precision-engineered na Istraktura

1. Pahalang na istraktura ng frame:Ang horizontal frame structure ng Semicorex silicon carbide cassette boats ay ginagawang perpektong akma ang mga ito sa pahalang na high-temperature furnace tubes.

2. Pantay-pantay na spaced slot notches:Nagtatampok ng maraming pantay-pantay na spaced slot notch, ang mga Semicorex silicon carbide cassette boat ay maaaring mahigpit na hawakan ang wafer sa lugar, na maaaring makabuluhang maiwasan ang mga hindi gustong mga gasgas, abrasion, at pinsala na nagreresulta mula sa wafer displacement, kaya epektibong tinitiyak ang katatagan ng proseso ng semiconductor at ani ng wafer.

3. Multi-slot na disenyo:Ang maramihang mga puwang na idinisenyo upang magdala ng maramihang mga wafer ay nagbibigay-daan sa mga Semicorex silicon carbide cassette boat na mapabuti ang kanilang single-batch processing throughput at pangkalahatang kahusayan sa produksyon.

4. Buksan ang arkitektura:Ang mga semicorex silicon carbide cassette boat ay nilagyan ng maalalahanin na bukas na arkitektura, na makakatulong na makamit ang pare-parehong pamamahagi ng gas at sapat na contact sa reaksyon, na sa gayon ay epektibong pinapaliit ang hindi pantay na mga resulta ng proseso.