Silicon Carbide Ceramic Cantilever Paddles

Semicorexsilikon karbid ceramic cantilever paddlesay ginawa ng mataas na temperatura na sintering ang one-step na 3D-printed green body, na sinusundan ng coating treatment sa pamamagitan ng chemical vapor deposition. Sa aktwal na operasyon, ang silicon carbide ceramic cantilever paddles ay pinapagana ng mga mechanical automation system upang maayos at tuluy-tuloy na ilipat ang mga bahaging nagdadala ng wafer papunta at palabas ng mga kagamitan sa pagpoproseso ng mataas na temperatura (tulad ng mga oxidation furnace, diffusion furnace, CVD furnace, atbp.). Ang mga sangkap na ito ng silicon carbide ay epektibong makakasiguro sa katumpakan ng concentricity sa pagitan ng mga wafer at mga tubo ng furnace, kaya ginagarantiyahan ang pagkakapareho at katatagan ng proseso sa panahon ng mga kritikal na proseso tulad ng diffusion, oxidation, at chemical vapor deposition.

Ang Pagganap ng Semicorex Silicon Carbide Ceramic Cantilever Paddles

1. Mababang pagganap ng polusyon:

Semicorexsilikon karbidceramic cantilever paddles, na naproseso na may mataas na katumpakan na paggamot, umabot sa dust-free at particle-free na mga pamantayan. Ang kanilang mga matrice ay may impurity content na mahigpit na kinokontrol sa ibaba 300PPM, at ang impurity content ng CVD silicon carbide coating ay mas mababa pa sa 5PPM.

2. Katatagan ng mataas na temperatura:

Dahil sa mahusay na resistensya sa mataas na temperatura at resistensya ng thermal shock ng silicon carbide, ang Semicorex silicon carbide ceramic cantilever paddles ay maaaring mapanatili ang kanilang structural stability sa mataas na temperatura hanggang sa 1250°C, nang walang deforming, paglambot, o pagkasira dulot ng mataas na temperatura.

3. Pambihirang kapasidad ng pagkarga:

Ang mga semicorex silicon carbide ceramic cantilever paddles ay naghahatid ng pambihirang kapasidad ng pagkarga na nakikinabang mula sa kanilang natatanging disenyo ng istruktura at sa kanilang mga superyor na katangian ng materyal (mataas na lakas at tigas ng makina). Ang pambihirang kapasidad ng load na ito ay nagbibigay-daan sa kanila na makayanan ang bigat ng malalaking batch ng mga wafer upang matugunan ang mga pangangailangan ng mass production, na epektibong nagpapabuti sa kahusayan ng pagproseso ng batch ng wafer.

4. Kahanga-hangang paglaban sa kaagnasan:

Ang Semicorex silicon carbide ceramic cantilever paddles ay nagpapakita ng mahusay na corrosion resistance sa oxygen, chlorine, at iba pang corrosive substance na naroroon sa mataas na temperatura sa mga proseso ng paggawa ng semiconductor at photovoltaic. Ang napakahusay na pagganap na ito ay mahalaga para sa pagtiyak ng maayos na operasyon ng mga proseso ng produksyon sa pamamagitan ng pag-iwas sa mga pagkalugi at oras na dulot ng pinsala sa silicon carbide ceramic cantilever paddles.

Ang Paraan ng Packaging ng Semicorex Silicon Carbide Ceramic Cantilever Paddles