Silicon carbide ceramicAng mga paddle ay karaniwang naka-install malapit sa furnace opening o process chamber, na ang isang dulo ay naayos at ang kabilang dulo ay umaabot sa furnace o process chamber. Sa panahon ng pagpoproseso ng operasyon, ang mga silicon carbide ceramic paddle ay tiyak na nakaposisyon sa wafer carrier na nagdadala ng mga wafer sa itinalagang lokasyon sa loob ng furnace o process chamber. Pagkatapos ng pagproseso, kukunin ng mga cantilevered paddle ang carrier at ililipat ito palabas ng furnace o chamber at ibibigay ito sa robotic arm para sa susunod na yugto ng paghawak.

Ang mga bentahe ng Semicorex silicon carbide ceramic paddles

1. Superior properties at maaasahang kalidad

Ang mga semicorex silicon carbide ceramic paddle ay naghahatid ng mahusay na katatagan ng mataas na temperatura, mataas na lakas, mataas na tigas, katatagan ng kemikal at mababang koepisyent ng thermal expansion. Gamit ang mga superyor na katangiang ito, ang Semicorex silicon carbide ceramic paddles ay matagal nang makatiis sa mga mahirap na kondisyon sa pagpapatakbo, tulad ng mataas na temperatura, matinding kaagnasan, mabigat na pagkarga, at madalas na mekanikal na operasyon.

2. Tumpak na pagsuporta at pagdadala

Umaasa sa mahusay na pagsuporta at paghahatid ng pagganap, Semicorexsilicon carbide ceramic paddlesmaaaring tumpak na ayusin ang mga wafer carrier sa lugar upang matiyak ang concentricity ng mga wafer na may kaugnayan sa mga tubo ng furnace, na makabuluhang binabawasan ang hindi pagkakapare-pareho ng proseso na dulot ng pag-alog ng wafer at misalignment sa panahon ng proseso.

3. Lubos na mahusay na awtomatikong operasyon

Ang mga semicorex silicon carbide ceramic paddle ay karaniwang gumagana kasabay ng robotic automated loading at handling system upang makamit ang mabilis na pag-load at pag-unload ng wafer. Ito ay makabuluhang nagpapaikli sa mga ikot ng proseso sa semiconductor at photovoltaic na pagmamanupaktura, pinapabuti ang kahusayan sa produksyon, at binabawasan ang mga manu-manong gastos sa pagpapatakbo at mga panganib ng error.

Ang mga aplikasyon ng Semicorex silicon carbide ceramic paddles

1. Paggawa ng photovoltaic cell

Ang mga semicorex silicon carbide ceramic paddle ay angkop sa mga thermal na proseso ng photovoltaic cells, tulad ng diffusion, LPCVD, at PECVD ng TOPCon at PERC cells. Sa pamamagitan ng pagkamit ng pagkakapareho at katatagan ng proseso, ang mga paddle na ito ay nag-aambag sa pagpapabuti ng kahusayan ng conversion ng photovoltaic cell.

2. Paggawa ng semiconductor chip

Nakatayo bilang mahalagang sumusuporta at nagdadala ng mga bahagi, ang Semicorex silicon carbide ceramic paddles ay mas malawak na ginagamit sa mga proseso tulad ng lithography, etching, at deposition sa panahon ng paggawa ng semiconductor chip, na nagbibigay-daan sa patuloy na stable na paglipat at tumpak na pagpoposisyon ng mga wafer.