Silicon Carbide Ceramic Wafer Boat

Premium na pagpili ng materyal

Ang mahusay na mga katangian ng Semicorex silicon carbide ceramicmga bangkang ostiyaay maiugnay sa mataas na kalidad na hilaw na materyales. Ginawa mula sa semiconductor-grade na SiSiC na materyal at natatakpan ng isang CVD SiC coating, ang Silicon carbide ceramic wafer boat ay nagpapakita ng mga sumusunod na mahusay na katangian.

1.Ultra-high purity, libre mula sa metal impurity release

Karumihan ng substrate: <100 ppm

CVD SiC coating impurity: ＜1 ppm

2.Superior thermal katatagan

Ang mga silicone carbide ceramic wafer boat ay patuloy na gumaganap sa 1250℃ mataas na temperatura na mga kondisyon, na naghahatid ng minimal na deformation at creep resistance.

3.Mataas na lakas ng makina

Silicon carbidenagtataglay ng mataas na tigas at resistensya sa pagsusuot, na nagbibigay-daan sa Semicorex silicon carbide ceramic wafer boats na labanan ang mga gasgas, abrasion, at pinsala, kaya gumaganap nang maayos sa pangmatagalang operasyon at lumalaban sa pinsala.

4.Pambihirang paglaban sa kaagnasan

Dahil ang silicon carbide ay lumalaban sa kaagnasan mula sa malalakas na acids at alkalis,  Ang Semicorex silicon carbide ceramic wafer boat ay maaaring mapanatili ang integridad ng istruktura at pagganap ng pagganap nito kahit na sa ilalim ng napaka-corrosive na mga kondisyon sa pagtatrabaho.

Na-optimize na disenyo ng istruktura

Ang mga semicorex silicon carbide ceramic wafer boat ay idinisenyo para sa pagpoproseso ng batch wafer, tinitiyak ng kanilang na-optimize na structural framework ang matatag na pagsuporta sa batch wafer at pare-parehong katatagan ng proseso para sa bawat wafer.

1.3-post vertical na istraktura ng suporta

Ang patayong istraktura ng Semicorex silicon carbide ceramic wafer boat ay nagbibigay-daan sa kanila na walang putol na tumugma sa mga vertical furnace application. Sa istrukturang ito, ang mga  emicorex silicon carbide ceramic wafer boat ay maaaring mapadali ang homogenous na sirkulasyon ng mga prosesong gas at pare-parehong pamamahagi ng thermal energy sa loob ng high-temperature furnace.

2.Pantay na ibinahagi ang mga kurot ng slot

Ang mga semicorex silicon carbide ceramic wafer boat ay nilagyan ng maraming precision-machined slot pinches sa kanilang mga poste ng suporta. Ang kanilang pantay na pagitan ng mga kurot ng slot ay nakakamit ng naaangkop na puwang ng puwang, na nagbibigay-daan sa mga silicon carbide ceramic wafer boat na matatag na i-secure ang mga semiconductor wafer, at sa gayon ay nag-aambag sa pagpapabuti ng pagkakapare-pareho ng mga resulta ng pagpoproseso ng wafer thermal.

Sa napakaraming mahusay na pagganap at pag-andar, ang Semicorex silicon carbide ceramic wafer boat ay malawakang ginagamit sa mga pangunahing proseso ng paggawa ng semiconductor wafer, tulad ng oxidation, diffusion, ion implantation, at high-temperature annealing.