Silicon carbide ICP etching plate

Silicon carbide ICP etching plateay may kakayahan sa paghahatid ng matatag na suporta at tumpak na pagpoposisyon para sa mga wafer sa mga operasyon ng etching, mahusay na pumipigil sa mga pagbawas sa katumpakan ng etching na dinala ng panginginig ng boses o pag -aalis.

Silicon carbide ICP etching plate has thermal management capabilities.Superior thermal conductivity ofSic ceramicNagbibigay ng silikon na karbida ICP etching plate ang kakayahang mabilis na mawala ang init, na tumutulong upang maiwasan ang lokal na sobrang pag -init ng workpiece at matiyak ang pagkakapareho ng temperatura ng etching, sa gayon ay mapapabuti ang kalidad ng etching. Ang SIC Ceramics ay may mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, na nagpapahintulot sa silikon na karbida na ICP etching plate upang mapanatili ang mahusay na dimensional na katatagan at bawasan ang pag -aalis ng workpiece o pagpapapangit na sanhi ng pagpapalawak ng thermal.

Umaasa sa mahusay na tigas at lakas na katangian, ang silikon na karbida ng ICP etching plate ay nagpapakita ng kakayahang tiisin ang mekanikal na stress at epekto ng plasma na nakatagpo sa panahon ng proseso ng etching na may kaunting pagpapapangit o pinsala. Ang kakayahang ito ay epektibong nagpapabuti sa kahusayan ng ani at produksyon ng mga aparato ng semiconductor.

Ang ICP operating environment ay nangangailangan ng kalinisan ng antas ng semiconductor. Ang Semicorex's Silicon Carbide ICP etching plate ay maaaring ganap na matugunan ang kinakailangang ito, na naghahatid ng pambihirang pagtutol sa mga gas ng kemikal (tulad ng klorin at fluorine) at plasma ng mga kapaligiran ng ICP etching. Ang makabuluhang tampok na ito ay nagpapanatili ng malinis na kapaligiran sa pamamagitan ng pagbabawas ng dami ng mga kontaminado na inilabas sa mga operasyon ng etching.

Pinahahalagahan ng Semicorex ang kaginhawaan ng gumagamit, na nag -aalok ng mga pasadyang disenyo ng silikon na karbida na ICP etching plate na walang putol na pagsamahin sa umiiral na mga sistema ng ICP etching at katugma sa iba't ibang mga pagsasaayos. Pinapayagan nito para sa isang maayos na paglipat, ginagawa itong isang perpektong solusyon sa pag -upgrade para sa mga tagagawa ng kagamitan.