Vertical Wafer Boat

Ang Semicorex Vertical Wafer Boat ay isang espesyal na idinisenyong carrier para sa maramihang mga wafer na nagpapalaki ng kahusayan sa espasyo sa loob ng mga processing chamber. Ang Vertical Wafer Boat na ito ay karaniwang hugis-parihaba o cylindrical, at ang bawat bangka ay may precision-machined na mga slot o pockets na may pagitan upang ligtas na hawakan ang mga indibidwal na wafer sa isang patayong posisyon. Ang Vertical Wafer Boat ay ginawa mula sa Silicon Carbide (SiC) na nagbibigay ng mahusay na panlaban sa mataas na temperatura, corrosive na kemikal, at mekanikal na stress, na ginagawa itong perpekto para sa pag-iingat ng mga wafer mula sa potensyal na pinsala.

Sa panahon ng paggawa ng semiconductor, ang mga wafer ay sumasailalim sa maraming masalimuot na proseso, kabilang ang diffusion, RTP, at thermal field. Ang Vertical Wafer Boat ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagpapadali sa mga prosesong ito sa pamamagitan ng pagsisilbi bilang isang carrier para sa mga wafer, na nagpapahintulot sa tuluy-tuloy na paglipat sa pagitan ng iba't ibang kagamitan at yugto. Pinaliit ng vertical na oryentasyon nito ang footprint sa loob ng mga processing chamber, pag-optimize ng throughput, at pagpapagana ng mahusay na paghawak ng malalaking batch ng mga wafer.

Ang Semicorex Vertical Wafer Boat ay isang pundasyon ng pagproseso ng semiconductor, na nagbibigay ng matatag at maaasahang solusyon para sa ligtas na paghawak at transportasyon ng mga wafer sa iba't ibang yugto ng paggawa. Ang advanced na disenyo nito, kasama ang mga pambihirang katangian ng SiC, ay binibigyang-diin ang mahalagang papel nito sa paggawa ng mga cutting-edge na semiconductor device.