Wafer Boat para sa Proseso ng Semiconductor

Nagbibigay ang Semicorex ng mga wafer boat, pedestal, at custom na wafer carrier para sa parehong vertical / column at horizontal configuration. Kami ay tagagawa at tagapagtustos ng silicon carbide coating film sa loob ng maraming taon. Ang aming Wafer Boat para sa Proseso ng Semiconductor ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa karamihan ng mga merkado sa Europa at Amerika. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Semicorex SiC Wafer Boat para sa Proseso ng Semiconductor, ang sukdulang solusyon para sa paghawak at proteksyon ng wafer sa paggawa ng semiconductor. Ang aming wafer boat para sa proseso ng semiconductor ay ginawa mula sa de-kalidad na silicon carbide, na may mahusay na pagtutol sa kaagnasan at mahusay na pagtutol sa mataas na temperatura at thermal shock. Ang mga advanced na ceramics ay naghahatid ng mahusay na thermal resistance at plasma durability habang pinapagaan ang mga particle at contaminants para sa mga wafer carrier na may mataas na kapasidad.

Mga Parameter ng Wafer Boat para sa Proseso ng Semiconductor

Teknikal na Katangian
Index	Yunit	Halaga
Pangalan ng Materyal		Reaksyon na Sintered Silicon Carbide	Walang Pressure na Sintered Silicon Carbide	Recrystallized Silicon Carbide
Komposisyon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Mabigat	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Flexural na Lakas	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Lakas ng Compressive	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Katigasan	Knoop	2700	2800	/
Pagsira sa Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermal Conductivity	W/m.k	95	120	23
Coefficient ng Thermal Expansion	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Tukoy na init	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Pinakamataas na temperatura sa hangin	℃	1200	1500	1600
Elastic Modulus	Gpa	360	410	240

Mga Tampok ng Wafer Boat para sa Proseso ng Semiconductor

Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
Ang materyal ay idinisenyo upang hindi mangyari ang mga bitak at delamination.