Wafer Boats

Ang mga Semicorex wafer boat na ginawa mula sa high-kadalisayan na silikon na karbida (sic) ay mga mahahalagang sangkap sa katha ng mga semiconductors. Ang mga proseso ng semiconductor kung saan ginagamit ang mga ito ay karaniwang kasama ang mga high-temperatura at kinakaing unti-unting mga kapaligiran tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, at mga proseso ng LPCVD. Ang application ng SIC wafer boat ay na -engineered upang ma -maximize ang thermal stability at paglaban ng kemikal, na nagpapahintulot sa pinakamainam na suporta, pagkakahanay at transportasyon ng mga silikon na wafer sa panahon ng pagproseso para sa pinakamainam na ani at pagganap ng aparato.

Ang Silicon Carbide ay mahusay na na -dokumentado bilang isang mahusay na thermally conductive ceramic, na nagpapakita ng mataas na lakas ng mekanikal at mahusay na paglaban ng thermal shock, paglaban sa oksihenasyon, at agresibong paglaban ng kemikal na may mga kemikal tulad ng HF at HCl. Ang mga pag-aari ng SIC ay ginagawang lalo na kaakit-akit bilang isang materyal para sa mga bangka ng wafer para sa mga susunod na henerasyon na mga proseso ng katha ng semiconductor at sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura. Ang mga bangka ng Sic wafer ay maaaring mapanatili ang integridad ng istruktura at dimensional na katatagan sa mga temperatura ng proseso ng> 1500 ° C, na binabawasan ang panganib ng pag -war o kontaminasyon ng mga wafer sa kritikal na paggamot sa thermal.

Bawat sicWafer Boatay ginawa mula sa high-kadalisayan sic gamit ang advanced na ceramic form at mga proseso ng pagsasala, at maaaring maiangkop para sa isang malawak na hanay ng mga wafer diameters (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) pati na rin ang pag-stack ng mga pagsasaayos kung patayo o pahalang. Ang aming mga bangka ng SIC wafer ay may makinis na mga ibabaw at mahusay na flatness na nagpapaliit ng henerasyon ng butil at mainam para sa mga awtomatikong sistema ng paghawak ng wafer.

Ang control at ani ng kontaminasyon ay dalawa sa mga pinaka -kritikal na isyu sa mga modernong araw na tela. Ang kalinisan at pagiging maaasahan ng SIC Wafer Carriers ay nakakaimpluwensya sa kalidad ng produkto at pagganap ng proseso ng pagkakapare -pareho.  Ang mga bangka ng Sic Wafer ay may mas mahusay na kahabaan ng buhay para sa paggamit, may mas kaunting mga kinakailangan sa pagpapanatili at mas mababang TCO kaysa sa mga alternatibong batay sa quartz o alumina. Ang mas mahusay na kahabaan ng buhay ay nangangahulugan din ng mas kaunting mga problema sa pagpapadanak ng micro-particle, samakatuwid muli, na nakakaapekto sa kalinisan ng ibabaw ng wafer at nakakaapekto sa kalinisan ng malinis na silid.

Ang Semicorex ay nakatuon sa pagdidisenyo at pagmamanupaktura ng mga bangka ng wafer na gumagamit ng pinakamataas na posibleng kadalisayan na mga hilaw na materyales na sinamahan ng mababang kontaminasyon sa kapaligiran ng kontaminasyon.  Ginagawa namin ang bawat pagsisikap na mapanatili ang mababang antas ng karumihan, upang mapanatili ang porosity sa mababang halaga, at pantay na microstructure upang ang gawain ng koponan ay regular na masisiyahan sa pare -pareho na mga katangian ng thermal, tumpak na wafer spacing at walang kapantay na paglaban sa kemikal.

Semicorex sicWafer Boatsay isang kinakailangang elemento ng mataas na temperatura sa pagproseso ng mga semiconductors. Ang mga mataas na kadalisayan na silikon na mga bangka na wafer wafer ay walang kaparis na mga katangian ng materyal, kahusayan sa engineered, at pag-uugali ng micro-contamination-free, gawin silang mataas na antas ng pagpipilian para sa mataas na pagganap ng wafer na katha. Nagbibigay ang Semicorex ng pagiging maaasahan at makabagong mataas na pagganap upang suportahan ang iyong pinaka -misyon na kritikal na mga proseso ng semiconductor.